ニューヨーク州政府およびニューヨーク州立大学(State University of New York:SUNY)は、10月8日(米国時間)、日本最大の半導体製造装置メーカーである東京エレクトロン(TEL)がSUNY Polytechnic Institute傘下のCollege of Nanoscale Science and Engineering(CNSE:ナノスケール理工学単科大学)のニュ―ヨーク州Albanyにあるキャンパス内のナノテク分野の巨大研究団地「NanoTech Megaplex」(写真1)において行ってきた研究契約を2020年まで延長する契約を結んだと発表した。
東京エレクトロンは2002年11月にCNSEとはじめて研究契約を締結しニューヨーク州に進出し、翌2003年現地に独自の研究所(TEL Technology Center, America)を設置していた。現在、キャンパス内のCNSEやSematech, IBM半導体研究開発センターなどと産官学協業し、次世代半導体装置やプロセスの研究開発を行っている。
今回の契約では、東京エレクトロンが2020年に向けてAlbany Nanotechの同社研究所に1億7500万ドル投資するほか、その投資額の5割に当たる8750万ドルをSUNY Polytechnic Instituteが投資し、投資総額は総額2億6250万ドル(315億円相当)となる。CNSEによると、2003年以降、CNSEキャンパス内の東京エレクトロン研究所への投資累計総額は、これで10億ドル(1200億円)を越えるという。 同敷地内には、Applied Materials(AMAT)も研究施設を設置しており、近年話題になった同社と東京エレクトロンとの経営統合が実現していれば両社の研究所も再編される計画となっていたが、経営統合そのものが破たんしたため。東京エレクトロンは同地において、今後も独自の投資を続行することを決定したとする。
(服部毅)